Преглед на активната изолационна платформа

STACIS ® III е гъвкава активна изолационна система. Системата за активна изолация на вибрациите STACIS използва усъвършенствани инерционни сензори за вибрации, усъвършенствани алгоритми за управление и пизоелектрически активатори, които филтрират движението на земята чрез непрекъснато измерване на повърхностната активност, след което разширяват и свиват пизоелектрическите активатори, за да елиминират вибрациите в реално време.

Първоначално проектиран за изолиране на прецизни микрографични, измервателни и тестови устройства в модерни полупроводникови заводи, STACIS се превърна в индустриално стандартно решение за чувствителни инструменти в шумни среди, включително, но не само, полупроводникови заводи, лаборатории за анализ на повреди, изследвания в областта на нанотехнологиите, нанопроизводствени съоръжения и изследователски центрове за материали.

Системата за активна изолация на вибрацията STACIS III включва изцяло нов подобрен цифров контролер DC-2020. Тази напълно нова система за управление** включва нов двуядрен процесор, Ethernet и сериен USB порт на предния и задния панел, предоставяйки на потребителите модерен и лесен за използване графичен потребителски интерфейс (GUI). С стотици успешни инсталации по целия свят, STACIS е идеалната изолационна система за инструменти, които са чувствителни към вибрации**.

Предимства на активната изолационна платформа STACIS III

STACIS е стотици пъти по-твърд от въздушната изолация и няма ограничения за въздушната изолация. Той няма "меко" окачване и за разлика от активната въздушна система, STACIS може да бъде поставен под инструмента с вътрешна активна въздушна изолация, така че и двете системи да работят в състояние **.

Уникалният сериен дизайн и патентованата високомощна пиеоелектрическа технология осигуряват широка активна честотна лента от 0,6 Hz***150 Hz и активно изолиране на вибрациите с 90% от 2 Hz**.

Активна изолационна платформа STACIS III

▪ ** Нов подобрен цифров контролер DC-2020 с лесен за използване графичен потребителски интерфейс

▪ Изолационната скорост започва при 0,6 Hz и достига 40% *** 70% при 1 Hz

▪ Вертикална и хоризонтална изолация над 90%, когато честотата е 2 Hz и по-висока

▪ Намаляване на изискванията за инфраструктура и разходите за изграждане, за да функционира нормално дори и с по-голямо външно вибрационно оборудване

▪ Ефективен изолационен диапазон от 0,6 Hz до 150 Hz

▪ Получаване на широко признание и одобрение от множество потребители

▪ 6-посочен дизайн за твърдо монтиране без въздушно окачване

▪ Мощната система за управление не се нуждае от редовна рекалибрация

▪ Проектиране на точка на използване, безпроблемно съвместимо с съществуващите вибрационни изолационни системи на клиента

▪ С промяната на външната среда системата автоматично се адаптира към различни външни вибрации

▪ STACIS от TMC ® Технология за активно обезвреждане с помощта на пизоелектрически изпълнители

▪ Цифрови контролери и PC-базиран графичен потребителски интерфейс (GUI)

▪ Подобряване на производителността, качеството и скоростта на готова продукция на клиентите.

▪ Съответства на RoHS стандартите

▪ ** Широка активно изолираща честотна лента, ** ниско честотно изолиращ ефект

▪ Активно елиминиране на вибрациите в Яхц**, изолация основно в честотната лента 0,6-6Hz

▪ Стекълируем дизайн

▪ Активна твърда конструкция за монтаж вместо меко окачване, без ниско-честотно дрифтиране, активни елементи, свързани с твърда пружина

▪ Пасивната пружина филтрира резонанса на натоварването от сензора STACIS и изисква много малко настройване, дори без настройване

▪ Съвместим с вътрешния изолатор на инструмента поради несъответствие на импеданцията

▪ Товар до 2000 кг

▪ Активни изолационни системи на пазара**

Производителност на активна изолационна платформа

Използване на аналогови вибрации с VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS) за тестване на полезен товар от 4 500 паунда (2 045 кг)

Спецификации на активната изолационна платформа

Спецификации за производителност

Потребители и приложения на STACIS

Микроелектроника, полупроводници

▪ Откриване на чипове

▪ Технология за микрооптография

▪ Калибриране на маската

Научни изследвания, нанотехнологии

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. лазерна станция

▪ Науки за живота, разработване на лекарства

4 Индустриални приложения

▪ Прецизна обработка

Защо да изберем активна изолация?

▪ Силно елиминиране на земните вибрации от <1Hz, пневматичната платформа не може да играе ефективна изолация на вибрацията при тази ниска честота

▪ Повишаване на качеството и производителността

▪ Способност за изображение с по-малки характеристики

▪ Гранични изследвания

▪ По-стабилна от пневматичната платформа

▪ ** Решение, което отговаря на стандартните параметри за монтаж на мястото на SEM

▪ По-ниски разходи за ново лабораторно и изследователско оборудване

Защо да изберете STACIS

▪ Това е в сърцето на учените и осигурява възможно най-безсътресена среда.

▪ ** Силна нискочестотна изолационна система на пазара.

▪ В момента всички производители на SEM са публикували изисквания за монтажни параметри, които изискват активна изолационна система за вибрация.

▪ STACIS** е изобретен през 90-те години и е разработен, разработен и инсталиран от TMC с хиляди активни изолационни системи, които са надеждни решения в областта на активното изолиране на вибрацията.

STACIS е стотици пъти по-твърд от пневматичния изолатор

Стабилното време в отговор на смущения е значително съкратено благодарение на уникалния сериен дизайн и е идеално за използване при производство на машини, динамични натоварвания, лазери или независими твърди плочи, които изискват монтаж на източник на светлина.

Следните предимства са в индустрията **

▪ Активната изолационна честотна лента на STACIS е 0,6 Hz - 150 Hz

▪ Активно отстраняване на вибрациите с 6 градуса свобода и вибрации с интервал от 8-10dB при 1Hz

▪ Изолация от вибрации от 2-3Hz до 90% (20dB)

Професионално изследване на околната среда

Проучване на околната среда преди и след инсталацията, включително вибрации, магнитно поле и звукови вълни

Сертификация на екологичната система след инсталация

▪ Перфектни услуги за изследване на околната среда

▪ Професионален екологичен доклад

▪ Предлага откриване и решения за вибрации, магнитни полета и звукови вълни

▪ TMC препоръчва практически решения на своите потребители въз основа на богатия си опит

▪ Повече от 40 години опит в индустрията **

Прилагане на снимки