ICP-MS е нова технология за анализ на неорганични елементи и изотопи, която бързо открива почти всички елементи в периодичната таблица едновременно. Технологията ICP-MS надхвърля традиционните неорганични аналитични технологии като индуктивно свързана плазмена спектрология (ICPAES), абсорбция на атоми в графитна печка (GFAAS) и технология за абсорбция на атоми в хладна живачна печка (CVAAS) като цяло и е известна като най-вълнуващото развитие на съвременните аналитични технологии.

Областите на приложение на технологията Agilent ICP-MS включват:
Анализ на проби от околната среда, включително водопровод, повърхностни води, подземни води, морски води и различни почви, отпадъци и т.н.;
Анализ на полупроводниковите материали
Анализ на проби от стъкло, керамика и минерална металлургия;
• геологични изследвания;
клинични изследвания в областта на биологичните храни и медицината;
Анализ на ядрените материали
Анализ на проби от нефтохимическа промишленост;
Приложения и изследвания в областта на съдебната медицина;
Наскоро използването на технологията за разделяне в областта на токсичността на околната среда, науките за живота и други области на елементарната стойност и морфологичния анализ стана фокус на приложението на технологията ICP-MS.
Характеристики на ICP-MS:
Бързо откриване на почти всички елементи в периодичната таблица едновременно
Минимална граница на откриване (до ниво ppq)
• Оптимално съотношение полза/разходи
Най-широк линейен динамичен диапазон – директно откриване на концентрации от ppq до стотици ppm
● Най-простата спектрална линия, най-малко смущения, добра точност и прецизност
Изисква се много нисък обем на пробата (ul до ml) и бърза скорост на анализ (1-3 минути / проба)
Гъвкав и разнообразен режим на откриване
Анализ на супер следи замърсители в често използваните материали в полупроводниковата промишленост:
Твърд: Si; GaAa монокристален рез; Кварц, силициев карбид и други материали за печка; Високо чисти метални електроди
Течност: свръхчиста вода; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Амониак и т.н.
Газ: SiH4; TE0S; NF3; N2 и т.н.
Agilent ICP-MS позволява директен анализ на органични проби:
Технологията на Agilent ICP-MS за високоефективна, високомощна защита на правоохлаждащата плазма се използва за определяне на следови замърсяващи елементи на ниво ppt в редица органични проби.
За някои от тези проби, други методи не могат да получат задоволителни резултати, а високомощната технология за охлаждане на плазмата е единственият метод за анализ.
Силни алкални почистващи средства - тетраметилхидроксид амониак (TMAH) и др.
● Често използвани органични разтворители - торфен, дитарфен, IPA и др.
● Високоматрични проби - летливи почистващи средства като фотогравиране, течни кристали, BPSG, PSG - ацетон, метанол и др.