Изисквания за измерване
Сканиране на триизмерната форма на повърхността на панела за измерване на износването на върха на сондата

Преглед на основните характеристики
Безконтактно измерване, интегриран дизайн

3-измерно сканиране, многофункционална обработка на данни
Подходящо за точно измерване на различни материали

4. лесен за използване, лесно монтиране

Бързо сканиране и висока точност на местоположението

± 0,5 до ± 1 μm повтаряща се точност

Висока стабилност и устойчивост на смущения

Резултати от измерването
Височината на сондата е около 100 μm преди износване и около 80 μm след износване

Решение на проблеми с измервателните устройства на този етап

Има определени изисквания към измервателния материал
Контактно измерване, увреждане на измервателния материал
Малък обхват на измерване, несигурно местоположение, трудности при измерване
Бавна скорост на измерване, ниска точност, голяма грешка в измерването

Сложна структура, високи разходи