- описание на продукта
Анализ на хелий-йонна хроматография с тетраклорозиланПодходящ за откриване на следи от примеси в газове, използвани в електронната индустрия, с малка концентрация на откриване до 5хб. Инструментът е оборудван с високо чувствителен хелийов йонизационен детектор и приема централната технология на рязане на Всички инжекционни клапани са оборудвани с газови пътища за защита от взрив; Цялата машина приема дизайн на многоколонна кутия и е оборудвана с автоматична калибрираща система за налягане на впръскване, за да се гарантира инжекционният обем на пробите с различни долни газове. Продуктът последователно печели проект на ниво А за трансформация на високотехнологични постижения в Шанхай.
Силиций (SiHCl)3)Съдържание (обемна фракция)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Дихлорозилан (SiH)2Cl2)Съдържание (обемна фракция)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Метил дихлорозилан (SiCl)2CH4)Съдържание (обемна фракция)/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
Съдържание на метални елементи и други елементи | Съдържание на(бор+алуминий) (B+Al)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.1 |
Съдържание на(фосфор+арсен) (P+As)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.3 | |
Съдържание на галий (Ga)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Съдържание на антимон (Sb)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Съдържание на индий (In)/(µ g/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Съдържание на калций (Ca)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на хром (Cr)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на желязо (Fe)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на калий (K)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на натрий (Na)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на никел (Ni)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на молибден (Mo)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на манган (Mn)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на мед (Cu)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на кадмий (Cd)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на кобалт (Co)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на цинк (Zn)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Съдържание на ванадий (V)/(µ g/kg) ≤ | 1 | 0.5 |