В много приложения за свръхчист газ, като например в полупроводниковата промишленост, остатъчната влага в газа е от решаващо значение за нормалното функциониране на процеса. Непрекъснатото проследяване на влажността винаги е било трудно и изисква сложни анализатори на влажността или скъпи аналитични технологии. В момента обаче MISSELL приборите предлагат на пазара проста, икономична и доста ефективна програма за онлайн измерване на точката на оросяване с невероятно ниска граница до -120 ° C (еквивалент на по-малко от 1 ppb).В). Pura Transmitter се основава на дългогодишния опит в производството и валидирането на сензори за импедантна точка на оросяване, съчетавайки стандартни индустриални материали и производствени процеси, за да създаде първия предавател с ниска цена за производството на полупроводници и приложения за ултрачисти газове. Акценти Долна граница за измерване -120°C точка на оросяване (1 ppb)В) Стабилно измерване, добра повтаряемост Силно интегрирано устройство за вземане на проби Аналогови и цифрови изходи Лесна инсталация VCR процесен интерфейс Компактен и малък дизайн Дисплей/аларма за избор
Технически показатели
Сензори Тип сензор Керамичен сензор за влажност Размер -120 ~ -40°C точка на оросяване (проверена до -100 ~ -40°C) Точност ± 1 ° C -40 ~ -60 ° C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (оценка) Разрешение 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Налягане минимум 10-9 torr; Максимум 24 MPa Поток на газ 1 ~ 5 Nl / мин Електрически захранване Обикновено 24 V DC, минимум 10 V ~ максимум 28 V, максимален ток 25 mA Изход Изход 4-20 mA, диапазонът може да се регулира чрез специален софтуер, диапазонът за регулиране от 1 до 80 °C (предлага се стандартно) Максимално натоварване = 100 Ω + 50 Ω x (V захранване -8) Състояние на грешка при изхода Стандартната информация за грешка на изхода е следната: 23 mA = повреда на сензора; 20 mA = надхвърляне на горната граница; 4 mA = наднормена граница Механични свойства Сензорни корпуси Неръждаема стомана, 0,1-0,2 Ra µm полиране Порт за свързване на въздушни пътища Премиум или OEM тип: 1⁄4' м VCR интерфейс Pura Sensor тип: ½' m VCR интерфейс Конфигурация на инсталацията Премиум или OEM тип: 120.00mm дължина, уплътнение на края на въздушния път порт. Не е необходимо да се запазват празнини в тръбите 2 монтажни отвора M4 x 0,7 с дълбочина 7 мм на базата, с разстояние от 20 х 20 мм Тип Pura Sensor: подходящ за ½' видео порт, предоставен от потребителя Размери Премиум или OEM: 120 x 35 x 150 мм Pura сензор 型: 132 х 35 мм тегло Премиум или OEM: 450 г Pura сензор 型: 180г Опаковка Pura: двойна опаковка, запечатване с инертен газ Pura OEM или Pura Sensor тип: Еднослойна опаковка Всички опционални аксесоари: самостоятелна опаковка Сензорният тип е оборудван със собствена защитна кутия на сензорния чип за транспортиране и работа