Силанът е важен нов материал, широко използван в LCD дисплеи, полупроводници, слънчева енергия и други индустрии, с развитието на китайските полупроводници и други индустрии, вътрешното търсене на силкан нараства, но тъй като технологията за производство на силкан в страната е в начален етап, как да се анализира чистотата на силкана е въпрос, пред който трябва да се изправят всеки производител.
Известно е, че анализът на високочисти газове е сложен процес и една от трудностите на хромографския анализ; Силанът поради специфичните си физически свойства, трудността на анализа му може да се увеличи, не само че се изисква високочувствителен детектор, но и да се реши проблема с горенето на кислорода.GC-9560-HG Гелийонизиран газов хроматометърПреодоляване на многобройните технически трудности в процеса на анализ на силикан, използването на високочувствителен детектор за йонизация на хелий, оборудван със специална система за вземане на проби от силикан, добре завършва анализа на примесите на ниво ppb в силикана.

Приложими стандарти:

• GB/T 15909-2009 Силани за електронни промишлени газове

GC-9560-HG Силанен анализен хелийонизиран газов хромометрПодходящ за откриване на следови примеси в високочисти газове и електронни промишлени газове, zui малка концентрация за откриване може да достигне 5ppb. Инструментът е оборудван с високочувствителен детектор за йонизиране на хелий, използва технологията за централно рязане на Huawei Inc.*, а всички входни клапани са оборудвани с входни клапани за защита на въздушния път; Цялата машина използва дизайн на многоколонна кутия, различните хроматографски колони могат да контролират температурата поотделно, zui оптимизира максимално условията на разделяне и улеснява отделната обработка на стареенето на различните хроматографски колони, за да улесни поддръжката на инструмента; Инструментът е оборудван с автоматична система за корекция на налягането на пробата, за да преодолее грешките в анализа, причинени от различните субстанционни газове поради различното молекулярно тегло.

Едно,GC-9560-HG Силанен анализен хелийонизиран газов хромометрПредимства на производителността:
Газовата промишленост е основната индустрия на националната икономика и е "кръвта" на промишленото производство, а с бързото развитие на националната икономика търсенето на високочисти газове и електронни газове също бързо нараства. Откриването на следови примеси е ключова част от производството на високочисти газове и електронни индустриални газове, а анализът на следови примеси винаги е бил трудност за хроматографичен анализ, като традиционните термопроводници и други хроматографични детектори не могат да бъдат компетентни за анализ на високочисти газове.
Детекторът за ионизиране на хелий с импулсно разреждане (PDHID) е универсален детектор с изключително висока чувствителност и висок отговор на почти всички неорганични и органични съединения, особено подходящ за анализ на високочисти газове, който може да открие до ниво ng / g (ppb). Новият разработен национален стандарт предвижда използването на детектор за ионизиране на хелий, за да замени оригиналните детектори и други топлопроводници, а националният стандарт "Газов анализ на хелиев ионизиран газов хроматограф", който е поел основната задача за изготвяне, също се разработва и скоро ще бъде официално обявен.

PDHID граници за откриване на газови примеси в силкана (ppb)

Две.GC-9560-HGКонфигурация на системата:

(1) GC-9560-HG Гелийонизиран газов хромометр (2) Детектор за йонизиране на хелий (PDHID)

(3) Централна система за рязане (4) Електронна система за вземане на проби от газ

(5) Системи за абсорбция и редукция на кислород (6) Пречистватели на хелий

(7) Специален клапан за намаляване на налягането за превозване на газ (8) Специален клапан за вземане на проби без мъртъв обем
(9)Газови филтри (10)Филтри за проби

(11) Хроматографски колони (12) Стандартни газове
(13) високочист хелий (чистота > 99,999%) (14) GC-9560V4.0 версия за антиконтролна хроматография

• Централна технология за рязане за пълен анализ на газа:
  GC-9560-HG хелио-ионизиран газов хроматометър използва многоклапанна многоколонна технология за централно рязане и противодухане, която се състои от няколко десетканални клапана за почистване и многокоренна хроматометрия, която автоматично контролира процесите на проба, превключване, рязане и противодухане чрез програмата за време, зададена на работната станция.

• 10-пътен клапан за издухване
  GC-9560-HGВсички са оборудвани с оригинални вносни VICI производство с защитен въздушен път тип десет пътни клапани, клапан равнина винаги е в атмосферата на носителя на газ, за да се избегне проникване на въздух в пробата при вход и превключване, значително подобряване на чувствителността и точността на откриването.
• Специално обработена хроматографична технология
  (1) хроматографска колона тръба с материал от неръждаема стомана 316L, а вътрешните стени на тръбата са пасивирани, за да се предотврати възникването на проблеми като адсорбция и въглероден моноксид
  (2) хроматографските колонни носители са специално третирани, за да се избегнат проблеми като адсорбция на кислород
  (3) Предварително рязана колона използва Хуае хроматография, за да получи националната технология за микро-пълнене на колоната, за да подобри цялостно разделянето на пробата, като вземе предвид разделянето, стабилността и бързината

• Система за разделяне на многоколонни кутии
  Различните форми на пробите от газ са разнообразни, а разнообразието от примеси изисква комбиниране на няколко различни хроматографски колони, за да се завършат всички примеси в пробите от газ. Тъй като оптималната работна температура на различните хроматографски колони се различава, е трудно да се намери оптимална работна температура на различните хроматографски колони в една и съща кутия. GC-9560-HG използва многоколонен дизайн, който ефективно решава проблемите, при които различните хроматографски колони изискват различни работни температури.
  При ежедневната поддръжка на инструмента, тъй като температурата на активиране на хроматографските колони на различни носители като молекулярно сито 5A варира, ако стареенето в една и съща колонна кутия изисква отстраняване на хроматографските колони, които не понасят високи температури, след което се активират отделно. Дизайнът на многоколонната кутия на GC-9560-HG ефективно решава горепосочените проблеми, като различните хроматографски колони могат да бъдат активирани отделно в различни колонни кутии, за да се избегне необходимостта от демонтиране на хроматографските колони при ежедневната поддръжка на инструментите.
• Пречиствател на хелий HP-2:
  GC-9560-HGИзползвайки високочист хелий като носител, чистотата на хелия директно влияе върху чувствителността на целия инструмент за откриване на примеси. Изследванията показват, че чистотата на газа, използван за анализ на високочистите газове, е най-малко с един степен по-висока от основната чистота на пробата от газ.
  HP-2 тип пречиствател на хелий е специален пречиствател на газ, произведен от компанията VICI, чиято пречистваща маса е нелатива адсорбционна сплав, на повърхността на адсорбционните частици има слой оксидна мембрана, която трябва да бъде активирана чрез отопление, процесът на активация трябва да бъде завършен във вакуум или инертна газова среда, така че хелият да се разпространява свободно между тях, за да се предотврати образуването на слой на пречистване на кислород и да се извърши адсорбция на примеси. Адсорбентните материали на HP имат добра топлоустойчивост и включват два диапазона за контрол на температурата.
  Пречистими газове: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Оперативно налягане: 1000psi
  Изтегляне на газове: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Почакай.
  Концентрация: ≤10ppb
• Система за корекция на налягането
  Традиционният хроматометър използва метод за контрол на потока на изхода на вентила за проба, за да контролира обема на пробата в количествената тръба, изпитванията показват, че този метод има голяма грешка в анализа.
  Да вземем за пример анализа на високочист водород: стандартният газ е шест примеси, конфигурирани в хелия, докато пробеният газ е шест примеси в водорода; Поради различното молекулярно тегло на хелия и водорода, количеството на пробата при един и същ поток не е *
  GC-9560-HGОборудване с система за коригиране на налягането, за да се преодолее проблема с количеството на пробата, причинено от различните газове, за да се гарантира точността на данните.
• Клапан за вземане на проби без мъртъв обем
  GC-9560-HG е оборудван със специален вентил за вземане на проби без мъртъв обем, който използва метод за вземане на проби с защита от издъхване, за да се избегне ефективно проблема с остатъците от въздух и да се намали ефектът на процеса на вземане на проби върху анализа до ниско ниво.
• Клапан за намаляване на налягането
  Обикновеният клапан за намаляване на налягането, поради наличието на голям брой мъртви обеми, директно засяга чистотата на носителния газ след изхода на клапана за намаляване на налягането, което води до висока концентрация на примеси в носителния газ, което засяга границите за откриване на цялата система.
  GC-9560-HG хелио-ионизиран газов хроматометър е оборудван с изцяло неръждаема стомана с двустепенна функция за регулиране на налягането, което значително подобрява стабилността на налягането, осигурява стабилността на базовата линия, като същевременно намалява мъртвия обем в тялото на клапана и допълнително подобрява чувствителността на откриването.

GC-9560-HGДиаграма на анализа: